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華力12英寸先進生產線建設項目實現首臺工藝設備搬入

發布時間: 2018-05-22

2018521-上海)521日上午,在上海浦東新區康橋工業園南區,由華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設和營運的12英寸先進生產線建設項目(以下簡稱“華虹六廠”)實現首臺工藝設備——光刻機搬入。這一里程碑節點的實現,標志著華虹六廠從基建階段進入工藝設備安裝調試階段。

 

 

 自20161230日開工以來,在參與華虹六廠建設的管理者有序組織協調下,廣大建設者克服連綿陰雨、持續高溫以及兩個春節長假放假等不利因素,合理安排,規范和錯時施工。經過16個半月508天、近100萬人日的艱苦奮戰,目前主廠房已完成凈化裝修,相關配套機電設備準備就緒,具備了工藝設備搬入條件,較原計劃進度提前1個半月。此次搬入的首臺工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT 1980Di光刻機,是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。

 

 

 華力12英寸先進生產線建設項目是上海市最大的集成電路產業投資項目,總投資387億元人民幣,將建成月產能4萬片的12英寸集成電路芯片生產線,工藝覆蓋28-14納米技術節點。項目計劃于2022年底建成達產。項目主要從事邏輯芯片生產,重點服務國內設計企業先進芯片的制造,并滿足部分事關國家信息安全的重點芯片制造需求。 

 

  華力12英寸先進生產線建設項目實現首臺工藝設備搬入,標志著將康橋工業園南區打造為上海集成電路產業發展新基地、上海市落實《國家集成電路產業發展推進綱要》取得了階段性勝利,同時對上海建設先進制造業的產業集群高地、打響“上海制造”品牌有著重要意義。

 未來五個月內,華虹六廠工藝設備將集中搬入,并完成安裝調試,年底前完成生產線串線并實現試流片。

 

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